空气颗粒物监测
洁净室颗粒物计数器部署在半导体晶圆厂、制药生产、医院手术室和ISO等级生产环境中。精确的采样流量测量至关重要,因为颗粒物计数是参照通过传感器的精确空气体积来计算的。
对于颗粒物计数器应用,OCS-3FL2.0和OCS-3F100P运行专用颗粒物计数器固件,仅测量流量——不测量氧气浓度。相同型号名称也用于制氧机应用,但运行不同固件并同时测量O₂浓度和流量。订购颗粒物计数器版本时,请注明需要颗粒物计数器固件版本。
标准0–20 L/min颗粒物计数器采样选择OCS-3FL2.0,大流量0–100 L/min工业级洁净室监测选择OCS-3F100P。
超声波气体传感器平台,流量检测范围0–20 L/min。提供两种固件版本:固定式PSA制氧机用O₂+流量版,或颗粒物计数器用纯流量版。
超声波气体传感器平台,流量范围0–100 L/min,内置大气压补偿。提供两种固件版本:大型PSA制氧机用O₂+流量版,或大流量颗粒物计数器用纯流量版。